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1、壓力傳感器校準(zhǔn)范圍
本檢定規(guī)程適用于測量范圍為（一0.1?500）MPa（表壓、差壓或絕壓）的壓力傳感器（靜態(tài)）的shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。
2、引用文件
本規(guī)程引用下列文件:
JJF 1008—2008壓力計(jì)量名詞術(shù)語及定義
GB/T 15478—1995壓力傳感器性能試驗(yàn)方法
GB/T 18459—2001傳感器主要靜態(tài)性能指標(biāo)計(jì)算方法
GB/T 18806—2002電阻應(yīng)變式壓力傳感器總規(guī)范
GB/T 20522—2006半導(dǎo)體器件第14-3部分：半導(dǎo)體傳感器一壓力傳感器
凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)程；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本規(guī)程。
3、術(shù)語和計(jì)量單位
3.1術(shù)語
3. 1. 1 靜態(tài)壓力 static pressure
在所研究的領(lǐng)域內(nèi)，不隨時間變化或隨時間變化而緩慢變化的壓力。[JJF1008一
2008 定義 1. 8]
3. 1. 2 壓力傳感器 pressure transducer
能感受壓力信號，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出電信號的器件
或裝置。[JJF 1008—2008 定義 5.1]
3.1.3 零點(diǎn)漂移 zero drift
在規(guī)定的條件下和時間間隔內(nèi)，零點(diǎn)輸出值的變化量。
3.1.4 靈敏度 sensitivity
傳感器輸出變化量與相應(yīng)的輸入變化量之比。[GB/T 18459—2001定義2. 3. 2]
3.1.5 符合度 conformity
正、反行程實(shí)際平均特性曲線相對于參比曲線的最大偏差，用滿量程輸出的百分比來表示。[GB/T 18459—2001 定義 2. 3. 6]
3.2計(jì)量單位
壓力傳感器使用的法定計(jì)量單位為Pa（帕斯卡），或是它的十進(jìn)倍數(shù)單位：kPa、 MPa等。壓力傳感器的輸出主要有電壓（V、mV）、電流（mA）或頻率（Hz）等。
4、壓力傳感器校準(zhǔn)概述
壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類型，壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。壓力傳感器的結(jié)構(gòu)原理如圖1 所示。
壓力輸入 | 壓力敏感 | 信號處理 | 輸出信號 | |
元件 | 單元 |
圖1壓力傳感器原理框圖
5、計(jì)量性能要求
5.1準(zhǔn)確度等級及基本誤差限
壓力傳感器的準(zhǔn)確度等級及基本誤差限應(yīng)符合表1規(guī)定。
表1準(zhǔn)確度等級及基本誤差限
準(zhǔn)確度等級 | 基本誤差/限（%） （以滿量程輸出值的百分?jǐn)?shù)表示） |
0. 01 | ±0. 01 |
0. 02 | 土 0. 02 |
0. 05 | + 0. 05 |
0. 1 | ±0.1 |
0. 2/0. 25 | + 0. 2/ + 0. 25 |
0. 5 | 士0.5 |
1. 0 | ±1. 0 |
1. 5 | + 1. 5 |
2. 0/2. 5 | ±2. 0/±2. 5 |
4. 0 | ±4. 0 |
5.2重復(fù)性壓力傳感器的重復(fù)性不得大于基本誤差限的絕對值。
5.3遲滯
壓力傳感器的遲滯不得大于基本誤差限的絕對值。
5.4線性
壓力傳感器的線性的絕對值不得大于基本誤差限的絕對值。非線性壓力傳感器對此不作要求。
5.5零點(diǎn)漂移
壓力傳感器的零點(diǎn)漂移不得大于基本誤差限絕對值的1/2。絕壓傳感器對此不作 要求。
5.6周期穩(wěn)定性
本次檢定的靈敏度與上一周期的靈敏度差值的絕對值，與本次檢定的靈敏度的比值為靈敏度周期穩(wěn)定性，通常以百分?jǐn)?shù)表示，該值不得大于基本誤差限絕對值。
5.7靜壓影響
靜壓影響只適用于差壓傳感器，靜壓零位變化不得大于基本誤差限絕對值。
5.8曲線符合度
曲線符合度只適用于非定點(diǎn)使用的非線性傳感器，曲線符合度不得大于基本誤差限絕對值。
通用技術(shù)要求
6.1外觀
6. 1.1壓力傳感器的銘牌應(yīng)完整、清晰，應(yīng)具有出廠編學(xué)、型號規(guī)格、測量范圍等信息；產(chǎn)品名稱、準(zhǔn)確度等級、制造廠的名稱或商標(biāo)、額定工作電壓（或電流）、輸出信 號、最大過載壓力、制造計(jì)量器具許可標(biāo)志及編號等信息可以根據(jù)情況在銘牌上增加，或在附帶的技術(shù)文件中進(jìn)行完整說明；差壓傳感器的高壓（+或H）和低壓（一或L） 接嘴應(yīng)有明確的yongjiu性標(biāo)志。
6.1.2壓力傳感器的配套零部件應(yīng)完好無損，外觀不應(yīng)有影響計(jì)量性能的銹蝕或損傷。各部件應(yīng)裝配牢固，不應(yīng)有松動、脫焊或接觸不良等現(xiàn)象。
6.1.3壓力傳感器的電源輸入端和信號輸出端應(yīng)有明確的區(qū)別標(biāo)志，在附帶的技術(shù)文件中應(yīng)對各端子連線進(jìn)行完整說明。
6.1.4使用中的壓力傳感器應(yīng)有上一周期的檢定證書，新制造的壓力傳感器應(yīng)有出廠合格證書。
6.2密封性
壓力值下降（或上升）不得超過試驗(yàn)壓力的1%。
6.3絕緣電阻
傳感器各組端子（包括外殼）之間的絕緣電阻應(yīng)不小于10 MQ。
7、計(jì)量器具控制
計(jì)量器具控制包括shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。
7.1檢定條件
7. 1-1檢定設(shè)備
檢定時所需的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具及配套設(shè)備可按被檢壓力傳感器的規(guī)格，參照表2進(jìn)行選擇并組合成套。對0.1級以下的被檢壓力傳感器，整套檢定設(shè)備檢定時引入的擴(kuò)展不確定度U應(yīng)不超過被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值的1/4；對0. 1級和0. 05級被檢 壓力傳感器，由此引入的擴(kuò)展不確定度U應(yīng)不超過被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值 的1/3；對0.05級以上的被檢壓力傳感器，由此引入的擴(kuò)展不確定度U應(yīng)不超過被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值的1/2 O
表2計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具及配套設(shè)備
序號 | 儀器設(shè)備名稱 | 技術(shù)要求 | 用途 |
1 | 壓力標(biāo)準(zhǔn)器可在下列儀器中選 擇：活塞式壓力計(jì)（包括單、雙活塞式壓力真空計(jì)及氣體活塞式壓力計(jì)）、液體壓力計(jì)、數(shù)字 壓力計(jì)、自動標(biāo)準(zhǔn)壓力發(fā)生器、浮球式壓力計(jì) | 按7.1.1的要求，通過不確定度分析確定 | 向壓力傳感器提供標(biāo)準(zhǔn) 壓力信號 |
2 | 讀數(shù)記錄裝置 | 按7. 1.1的要求，通過不確定度分析確定 | 壓力傳感器輸出信號的 測量 |
3 | 直流穩(wěn)壓（穩(wěn)流）電源 | (0~30) V, (0~10) mA, 允許誤差士 1% | 直流供電電源（輸出信 號與供電電源不相關(guān)） |
（0~30） V, （0~10） mA, 穩(wěn)定度按7.1.1的要求，通 過不確定度分析確定 | 直流供電電源（輸出 信號與供電電源相關(guān)） | ||
4 | 壓力測量儀表 | 不低于1.0級 | 密封性試驗(yàn) |
5 | 絕緣電阻表 | 輸出電壓：直流100 V 不低于10級 | 檢定絕緣電阻 |
6 | 高低溫試驗(yàn)箱 | 溫度調(diào)節(jié)范圍不小于傳感 器溫度范圍，溫度波動度 不超過±0.5 °C,溫度均勻 度不超過±2.0 °C | 高、低溫壓力傳感器的 檢定 |
7 | 氣源 | 輸出壓力應(yīng)穩(wěn)定，無油無 灰塵，露點(diǎn)穩(wěn)定并低于傳 感器殼體10 °C | 氣體介質(zhì)傳感器檢定用氣源 |
8 | 真空機(jī)組 | 機(jī)械泵、擴(kuò)散泵的真空度 應(yīng)符合要求 | 絕對壓力傳感器及負(fù)壓 傳感器的壓力源 |
7. 1.2環(huán)境條件
a）檢定時的環(huán)境溫度視被檢壓力傳感器的準(zhǔn)確度等級而定，應(yīng)符合表3要求。
表3檢定環(huán)境溫度要求
準(zhǔn)確度等級 | 溫度 |
0.01 級、0.02 級 | (20±l)°C |
0. 05 級 | (20±2)°C |
0.1 級、0.2 (0.25)級、0.5 級 | (20±3)°C |
1.0級及以下等級 | (20+5)°C |
b） 相對濕度：小于80%；
c） 所處環(huán)境應(yīng)沒有影響壓力傳感器穩(wěn)定輸出的機(jī)械振動和外磁場（地磁場除外）。
7.2檢定項(xiàng)目
壓力傳感器shouci檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查的檢定項(xiàng)目見表4。
表4檢定項(xiàng)目
檢定項(xiàng)目 | shouci檢定 | 后續(xù)檢定 | 使用中檢查 |
6.1外觀 | + | + | + |
6.2密封性 | + | — | — |
6.3絕緣電阻 | + | + | — |
5.1基本誤差限 | + | + | + |
5.2重復(fù)性 | + | + | + |
5.3遲滯 | + | + | + |
5.4線性 | + | + | + |
5.5零點(diǎn)漂移 | + | + | + |
5.6周期穩(wěn)定性 | — | + | — |
5.7靜壓影響 | + | + | — |
5.8曲線符合度 | + | + | — |
注：表中“+"表示應(yīng)檢定項(xiàng)目，“一"表示可不檢定項(xiàng)目。 | |||
7. 3檢定方法
7.3.1外觀檢查
用目力觀測，應(yīng)符合6.1的要求。
7.3.2檢定前準(zhǔn)備
7.3.2.1設(shè)備的連接與安裝
檢定前，壓力傳感器應(yīng)在檢定環(huán)境條件下放置2h以上，方可進(jìn)行檢定。
將壓力傳感器按要求與壓力標(biāo)準(zhǔn)裝置連接，對釆用液體為傳壓介質(zhì)的壓力標(biāo)準(zhǔn)器, 安裝時應(yīng)排除管路中的空氣。壓力傳感器、激勵電源、讀數(shù)記錄裝置等儀器設(shè)備按規(guī)定連接方式連接，使其處于正常工作位置和狀態(tài)。安裝壓力傳感器時，應(yīng)盡量使壓力傳感器的感壓面與壓力標(biāo)準(zhǔn)器的參考平面在同一水平面上，對于由高度差引起的誤差，可參照附錄A進(jìn)行修正。
7.3.2.2通電預(yù)熱
檢定系統(tǒng)正確安裝、連接后，至少需通電預(yù)熱30 min0
7.3.2.3檢定前預(yù)壓
對檢定系統(tǒng)加壓至預(yù)壓壓力，穩(wěn)定Imin后，緩慢通大氣，連續(xù)進(jìn)行3次。
預(yù)壓壓力：正表壓傳感器為其測量范圍上限；負(fù)表壓傳感器為測量范圍下限或當(dāng)?shù)卮髿鈮旱?0%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓傳感器及正負(fù)壓復(fù)合量程傳感器為測量范圍上限和下限（或當(dāng)?shù)卮髿鈮毫?0%以上疏空度）兩個壓力點(diǎn)。
7.3.3 密封性檢查
將壓力傳感器和壓力測量儀表安裝在壓力標(biāo)準(zhǔn)器上，平穩(wěn)地升壓（或疏空），使壓力傳感器測量室壓力達(dá)到密封性檢查壓力，關(guān)閉壓力源，待壓力穩(wěn)定后，耐壓15 min,在最后5 min內(nèi)通過壓力測量儀表觀察，其壓力值下降（或上升）不得超過試驗(yàn)壓力的1%。
密封性檢查壓力：正表壓傳感器為其測量范圍上限；負(fù)表壓傳感器為測量范圍下限 或當(dāng)?shù)卮髿鈮旱?0%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓及正負(fù)壓復(fù)合量 程傳感器取測量范圍上限和下限（或當(dāng)?shù)卮髿鈮毫?0%以上疏空度）偏離當(dāng)前大氣壓較大者。
差壓傳感器在進(jìn)行密封性檢查時，高低壓力容室連通，并同時引入額定工作壓力進(jìn) 行觀察。
7.3.4絕緣電阻檢定
在環(huán)境溫度為15 °C?35 °C,相對濕度為45%?75%時，在被檢傳感器不施加激勵 電源的條件下，用輸出電壓為直流100 V的絕緣電阻表，將電源端子和輸出端子分別短接，用絕緣電阻表分別測量電源端子與接地端子（外殼）、電源端子與輸出端子、輸出 端子與接地端子（外殼）之間的絕緣電阻。測量時，應(yīng)穩(wěn)定10 s后讀數(shù)。
7. 3.5零點(diǎn)漂移檢定
在規(guī)定的環(huán)境條件下，傳感器通電預(yù)熱及預(yù)壓后，記錄零點(diǎn)初始輸出值貝，然后每隔15 min記錄一次零點(diǎn)輸出值乂（/ = 1, 2, 3,…），從開始記錄起連續(xù)進(jìn)行的時間不得少于lh,零點(diǎn)漂移億按公式（1）計(jì)算，其值應(yīng)符合5.5的要求。
